회사소개
캐니스터캐니스터
캐니스터
반도체 공정용 고순도 가스 및 프리커서를 안전하게 저장∙공급하는 핵심 용기로 내구성과 청정성을 갖추어 안정적인 공정 운영을 보장합니다.
반도체 공정 내 캐니스터의 역할과 기능
캐니스터는 반도체 제조에 사용되는 고순도 전구체와 특수가스를 안전하게 보관하고 이송하는 중요한 용기입니다. 가스의 순도를 유지하고 안정적인 공급을 보장하기 위해 정밀한 표면 처리와 부식 방지 소재로 설계되었습니다.
- 고순도 보관 전구체 및 특수가스의 청정도를 최상으로 유지합니다.
- 안정적인 공급 공정 중 일정한 압력과 유량으로 가스를 공급합니다.
- 내구성 및 안전성 강력한 부식 방지 기능과 기계적 안정성을 확보합니다.
- 차세대 공정 대응 첨단 ALD 및 CVD 공정에 최적화된 설계를 제공합니다.
Cleaning Equipment(세척장비)
List
Image
- 1 Wet Station
- 2 UPW System
1
Wet Station
Wet Station
2
UPW System
UPW System
Inspection Equipment(검사장비)
List
Image
- 1 Forced Convection Oven (4ea)
- 2 He Leak Detector (2ea)
- 3 Cycle purge system (1ea)
- 4 Moisture Analyzer (2ea)
- 5 Air particle counter (1ea)
1
Forced Convection Oven (4ea)
Forced Convection Oven (4ea)
2
He Leak Detector (2ea)
He Leak Detector (2ea)
3
Cycle purge system (1ea)
Cycle purge system (1ea)
4
Moisture Analyzer (2ea)
Moisture Analyzer (2ea)
5
Air particle counter (1ea)
Air particle counter (1ea)