PRODUCT INFO
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Low-k
반도체 DRAM과 3D-NAND
제조 공정에서 사용되며,
CVD/ALD 공정을 통한 SiO2
박막 증착의 용도로 사용됩니다.
High-k
Tetraethyl orthosilicate
Diiodosilane
Trisilylamine
Diisopropylaminosilane
Bis(tert-butylamino)silane
Tris(dimethylamino)silane
Bis(diethylamino)silane