TDMAS

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TDMAS

Precursor > Low-k

Tris(dimethylamino)silane

Chemical Name TDMAS [Tris(dimethylamino)silane]
Formula SiH(NMe₂)₃
Molecular Weight 179.33 g/mol
Physical State Liquid
Boiling Point 155℃
Application ALD SiN
Capacity 1,000kg/M
TDMAS

위험 표시

인화성
인화성
부식성
부식성
급성독성
급성독성