BTBAS
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BTBAS
Precursor > Low-k
Bis(tert-butylamino)silane
Chemical Name
BTBAS [Bis(tert-butylamino)silane]
Formula
SiH₂(NHtBu)₂
Molecular Weight
174.33 g/mol
Physical State
Liquid
Boiling Point
170℃
Application
ALD SiN
Capacity
1,000kg/M
위험 표시
인화성
부식성
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