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DIPAS
Precursor > Low-k
Diisopropylaminosilane
Chemical Name
DIPAS [Diisopropylaminosilane]
Formula
SiH₃(NiPr₂)
Molecular Weight
159.33 g/mol
Physical State
Liquid
Boiling Point
140℃
Application
ALD SiN
Capacity
1,000kg/M
위험 표시
인화성
부식성
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