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Precursor > Low-k
Tetraethyl orthosilicate
Chemical Name
TEOS [Tetraethyl orthosilicate]
Formula
Si(OC₂H₅)₄
Molecular Weight
208.33 g/mol
Physical State
Liquid
Boiling Point
168℃
Application
CVD SiO₂
Capacity
24,000kg/M
위험 표시
인화성
자극성
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