PDMATa

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PDMATa

Precursor > High-k > Tantalum

Pentakis(dimethylamido)tantalum

Chemical Name PDMATa [Pentakis(dimethylamido)tantalum]
Formula Ta(NMe₂)₅
Molecular Weight 360.36 g/mol
Physical State Solid
Boiling Point 200℃
Application ALD TaN
Capacity 50kg/M
PDMATa

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인화성
인화성
부식성
부식성
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