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TDMAHf
Precursor > High-k > Hafnium
Tetrakis(dimethylamido)hafnium
Chemical Name
TDMAZr [Tetrakis(dimethylamido)hafnium]
Formula
Hf(NMe₂)₄
Molecular Weight
355.69 g/mol
Physical State
Solid
Boiling Point
180℃
Application
ALD HfO₂
Capacity
1,000kg/M
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